高分辨扫描电子显微镜
品牌型号：Hitachi FlexSEM1000 Ⅱ
主要用途：
该仪器的分析对象是固体物质的表面超微结构的形态和组成。其利用高能电子束来扫描样品来激发各种物理信息，以达到对物质微观形貌表征的目的，从而获得物质微观形貌、结构、成分和结晶学信息。具有分辨率高，放大倍数范围宽，可测样品种类丰富等优点。主要应用于生命科学、物理学、化学、司法、地球科学、材料学以及工业生产等领域的微观研究。
设备参数：
1.加速电压：0.3 kV ～ 20 kV
2.放大倍率：×6～×300,000（底片倍率※2 ）；×16～×800,000（显示屏倍率※3 ）
3.可变压力范围：6～100 Pa
4.电子束偏转：± 50 μm（WD＝10 mm）
5.最大样品尺寸：直径80 mm
6.二次电子分辨率：4.0 nm（加速电压20 kV、WD＝5 mm、高真空模式）；15.0 nm（加速电压1 kV、WD＝5 mm、高真空模式）
7.背散射电子分辨率：5.0 nm（加速电压20 kV、WD＝5 mm、低真空模式）
8.最大观察范围：直径64 mm（R联用）
9.双轴自动马达台：3轴马达驱动（X、Y、R轴）
10.电子枪：预对中的钨灯丝
11.检测系统：二次电子探测器、高灵敏度半导体式背散射电子探测器
12.EDS分析WD：WD＝10 mm（T.O.A＝30°）
13.探测器/各种分析装置：能谱仪（EDS）；高灵敏度低真空探测器（UVD）；红外CCD探测器；相机导航系统；图像分辨率高达4 nm。
8.最大观察范围：直径64 mm（R联用）
9.双轴自动马达台：3轴马达驱动（X、Y、R轴）
10.电子枪：预对中的钨灯丝
11.检测系统：二次电子探测器、高灵敏度半导体式背散射电子探测器
12.EDS分析WD：WD＝10 mm（T.O.A＝30°）
13.探测器/各种分析装置：能谱仪（EDS）；高灵敏度低真空探测器（UVD）；红外CCD探测器；相机导航系统；图像分辨率高达4 nm。
送样要求：
干燥、无溶剂残留、不含磁性的固体。
地址：暨南大学番禺校区F1栋1010
管理员：许佳怡老师 文伟老师 肖梦老师 电话：020-37331542
